捷欧路JEOL JEM-3200FS 场发射透射电子显微镜
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简介：捷欧路JEOL JEM-3200FS 场发射透射电子显微镜配备了最高加速电压为300kV的场发射电子枪（FEG）和镜筒内置式型能量过滤器，能为广泛的研究领域提供各种全新的解决方案。捷欧路JEOL JEM-3200FS 场发射透射电子显微镜镜...
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- 产品介绍
捷欧路JEOL JEM-3200FS 场发射透射电子显微镜配备了最高加速电压为300kV的场发射电子枪（FEG）和镜筒内置式Ω型能量过滤器，能为广泛的研究领域提供各种全新的解决方案。捷欧路JEOL JEM-3200FS 场发射透射电子显微镜镜筒内置式Ω型能量过滤器内置于成像透镜系统，能容易地获得能量过滤像和能量损失谱，同时还能获得与传统电子显微镜同等的放大倍率范围。此外、Ω型过滤器的电子光学系统在设计上最大程度地减少了图像畸变，出厂前还将剩余一点的畸变做了最后的修正。JEM-3200FS还采用了高灵敏度的相机系统及图像处理系统（选配件），可以构建元素面分布系统及能量损失谱系统。
捷欧路JEOL JEM-3200FS 场发射透射电子显微镜有电子枪、电子光学系统、测角台、抽真空系统等电子显微镜基本功能的系统化，实现了高稳定、高性能的控制系统。图像画面和用户界面采用Windows ®*1，可以进行编程操作和附件的集中控制。捷欧路JEOL JEM-3200FS 场发射透射电子显微镜的系统化的新型测角台内置压电陶瓷驱动机构，使高倍率下的样品移动更加精确。
| 物镜极靴*1 | 超高分辨UHR | 高分辨率HR | 高倾斜HT | 高衬度HC |
| 分辨率 | ||||
|
点分辨率 晶格分辨率 |
0.17nm 0.1nm |
0.19nm 0.1nm |
0.21nm 0.1nm |
0.26nm 0.14nm |
| 能量分辨率 | 0.9 eV（零损失FWHM） | |||
| 加速电压 | 300kV，200kV,100kV*2 | |||
|
最小步长 能量位移 |
100V 最大3,000V (以0.2V为步长) |
|||
| 电子枪 | ||||
| 发射体 | ZrO/W(100) 肖特基式 | |||
| 亮度 | ≧7×108 A/cm2 ・ sr | |||
| 真空度 | 3×10-8Pa | |||
| 探针电流 | 探针直径为1nm时，电流在0.5nA以上 | |||
| 稳定度 | ||||
| 加速电压 | 2×10-6/min | |||
| 物镜电流 | 1×10-6/min | |||
| 过滤器透镜电流 | 1×10-6/min | |||
| 物镜 | ||||
| 焦距 | 2.7 mm | 3.0 mm | 3.5 mm | 3.9 mm |
| 球差系数 | 0.6 mm | 1.1 mm | 1.4 mm | 3.2 mm |
| 色差系数 | 1.5 mm | 1.8 mm | 2.2 mm | 3.0 mm |
| 最小焦距步长 | 1.0 nm | 1.4 nm | 1.5 nm | 4.1 nm |
| 束斑尺寸 | ||||
| TEM 模式 | 2 ～ 5 nmφ | 2 ～ 5 nmφ | 7 ～ 30 nmφ | |
| EDS 模式 | 0.4 ～ 1.6 nmφ | 0.5 ～ 2.4 nmφ | 4 ～ 20 nmφ | |
| NBD 模式 | 0.4 ～ 1.6 nmφ | 0.5 ～ 2.4 nmφ | - | |
| CBD 模式 | 0.4 ～ 1.6 nmφ | 0.5 ～ 2.4 nmφ | - | |
| 电子束衍射 | ||||
| 衍射角(2α) | 1.5 t～ 20 mrad | - | ||
| 取出角 | ±10 ° | - | ||
| 倍率 | ||||
| MAG 模式 | ×2,500 ～ 1,500,000 | ×2,000 ～ 1,200,000 | ×1,500 ～ 1,200,000 | |
| LOW MAG 模式 | ×100 ～ 3,000 | |||
| SA MAG 模式 | ×8,000 ～ 600,000 | ×6,000 ～ 500,000 | ×5,000 ～ 500,000 | |
| 视野 |
10eV时狭缝宽度60mm(底片上) 2eV时狭缝宽度25mm(底片上) |
|||
| 相机长度 | ||||
| 选区电子衍射 | 200 ～ 2,000 mm | 250 ～ 2,500 mm | 400 ～ 3,000 mm | |
| EELS 散射 | ||||
|
能量选择 在能量选择狭缝上 |
0.85 μm/eV , 300 kV | |||
| 底片上 | 100 ～ 220 μm/eV , 300kV | |||
| 样品室 | ||||
| 样品移动范围 (XY/Z) | 2mm/0.2mm | 2mm/0.4mm | 2mm/0.4mm | 2mm/0.4mm |
| 样品倾斜角 (X/Y) | ±25°/±25°*3 | ±35°/±30°*3 | ±42°/±30°*3 | ±38°/±30°*3 |
| EDS*4 | ||||
| 固体角 | 0.13 sr | 0.09 sr | ||
| 取出角 | 25° | 20° | ||
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